台灣半導體製造產業居全球領先地位，2023年產值約2.6兆元。為了減低少子化問題對我國半導體重點產業永續發展的影響，本校呼應行政院及教育部政策，提出創新產業人才培育機制並獲教育部審議通過成立「半導體及重點科技研究學院」，且下設三個研究所，其中包括於112學年度增設的「創新半導體製造研究所」：112及113學年度招收及培育25位碩士班及5位博士班的半導體製造產業科技人才，114學年度起增加至35位碩士班及5位博士班學生。

本研究所採取垂直/橫向整合產業鏈需求的創新產學共育模式，由大學教授與產業專家組成師資團隊及共同設計規劃符合產業發展所需的專業課程地圖及學位論文研究主題，合作企業提供學生短期企業體驗課程場域(包括先進設備與儀器)，使學生能夠近距離接觸晶圓製造的精密設備，並體驗先進科技與產業文化，進一步拓展視野。此外，本研究所開設「半導體特殊技術專論」特色課程，邀請多位合作企業主管和專家親臨本學院講授產業趨勢及先進半導體技術，包括CoWoS和INFO等先進的2.5D和3D封裝技術、RRAM和MRAM等先進記憶體以及BCD和影像感測器等特殊應用等。

中山半導體學院相當重視學生的專業能力培育得以充分對接國家重點產業發展的需求，也希望本研究所學生畢業後可立即加入台灣半導體製造產業國家隊，以補足臺灣半導體製造產業的科技人才缺口及永續其國際領先地位。透過以上創新產學合作機制，期能強化本校與大型企業產學合作的廣度與深度，進而提升本校技術研究發展成果效益，創造國家、產業、大學及學生共贏的局面。最後，特別感謝教育部的核定以及國發基金的補助與台積電公司的共同出資。