所長
現職:創新半導體製造研究所教授級專業技術人員兼創新半導體製造所所長
專長:半導體微影技術,先進記憶體科技,半導體製程人工智慧應用, OPC (optical proximity correction), RET(resolution enhancement technologies)
現職:創新半導體製造研究所教授級專業技術人員兼創新半導體製造所所長
專長:半導體微影技術,先進記憶體科技,半導體製程人工智慧應用, OPC (optical proximity correction), RET(resolution enhancement technologies)