任期：2022.08.01~2024.07.31

學歷：University of New South Wales, Sydney, Australia

專長：微機電元件、微感測元件、微致動元件、超大型積體電路技術

任期：2023.10.01~2024.01.31

學歷：美國伊利諾大學芝加哥分校電機及計算機科學研究所博士

專長：微機電系統、生醫感測系統、機電整合系統、熱像系統

任期：2022.08.01~2023.01.31

學歷：國立清華大學動力機械工程系博士

專長：微封裝技術、電動機/發電機驅控

任期：院長代理創新半導體製造研究所所長(2023.08.01~2024.07.31)

學歷：國立清華大學電機博士

專長：半導體科技、微系統科技、生醫微感測晶片、化學微感測晶片

任期：2024.08.01~2025.03.31代理

學歷：國立成功大學電機博士

專長：材料科學、電子陶瓷、薄膜工程