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歷任主管

黃瑞星

任期:2022.08.01~2024.07.31

學歷:University of New South Wales, Sydney, Australia

專長:微機電元件、微感測元件、微致動元件、超大型積體電路技術

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任期:2023.10.01~2024.01.31

學歷:美國伊利諾大學芝加哥分校電機及計算機科學研究所博士

專長:微機電系統、生醫感測系統、機電整合系統、熱像系統

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任期:2022.08.01~2023.01.31

學歷:國立清華大學動力機械工程系博士

專長:微封裝技術、電動機/發電機驅控

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任期:院長代理創新半導體製造研究所所長(2023.08.01~2024.07.31)

學歷:國立清華大學電機博士

專長:半導體科技、微系統科技、生醫微感測晶片、化學微感測晶片